干涉顯微鏡的工作原理

　　干涉顯微鏡的工作原理主要基于光波的干涉原理，通過測量光波在樣品表面反射后產生的光程差或相位差，來精確測定樣品表面的微小高度差異或結構特征。以下是干涉顯微鏡工作原理的詳細闡述：

　　一、基本原理

　　干涉顯微鏡利用分光板將光源發出的光束分成兩束，這兩束光分別被稱為物光和參考光。物光經過被測樣品表面反射后，與參考光在觀察目鏡處相遇并發生干涉。由于樣品表面的微小高度差異或結構特征，物光與參考光之間會產生光程差或相位差，進而在觀察目鏡中形成明暗相間的干涉條紋。這些干涉條紋的形狀、彎曲度和間距等信息，可以反映出樣品表面的形貌特征。

　　二、光學系統

　　干涉顯微鏡的光學系統通常包括光源、分光板、物鏡、參考鏡（或標準鏡）、補償板以及觀察目鏡等部件。光源發出的光束經過分光板后，一束透過分光板繼續前行，經過補償板、物鏡后射向被測樣品表面；另一束則被分光板反射，通過物鏡射向參考鏡（或標準鏡），再經過物鏡返回分光板并與第一束光相遇。兩束光在觀察目鏡處發生干涉，形成干涉條紋。

　　三、干涉條紋的形成與解讀

　　當樣品表面存在微小的高度差異或結構特征時，物光與參考光之間的光程差或相位差會發生變化。這種變化會導致干涉條紋的形狀、彎曲度和間距等特征發生變化。通過觀察和分析這些干涉條紋的變化情況，可以推算出樣品表面的形貌特征及其高度差異。

　　四、應用與特點

　　干涉顯微鏡具有高精度、高靈敏度和非接觸式測量等優點，廣泛應用于精密加工、材料科學、生物醫學等領域。它不僅可以測量樣品表面的粗糙度、光潔度等形貌特征，還可以用于測定樣品的折射率、厚度等物理參數。此外，干涉顯微鏡還可以與各種附件相結合，擴展其測量范圍和應用領域。

　　綜上所述，干涉顯微鏡的工作原理基于光波的干涉原理，通過測量光波在樣品表面反射后產生的光程差或相位差來精確測定樣品表面的微小高度差異或結構特征。其高精度、高靈敏度和非接觸式測量的特點使得它在多個領域具有廣泛的應用前景。